洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒服感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

无尘车间生产工艺对密闭性能有着特殊要求，无尘车间内空间密闭、平面布置曲折、风管交错连通、复合装修材料复杂，有的生产过程中使用易燃易爆物质，一旦发生火灾，热量难于散发，人员不便于疏散，风管大量布置造成火势迅速蔓延，有的无尘车间内部还设有大量的昂贵仪器和设备，易造成重大的人员伤亡和财产损失。

无尘车间风管安装就位的程序通常为先上层后下层，先主干管后支管，先立管后水平管。就位时应注意，例如：采用吊装组对无尘车间风管时，应加强表面的保护，注意吊点受力，保证吊装稳定、和无尘车间风管不产生扭曲、弯曲变形等，必要时应采取防止变形的措施。

无尘车间风管穿过需要封闭的防火防爆楼板或墙体是采取的措施。应设钢板厚度不小于1.6mm的预埋管或防护套管，无尘车间风管与防护套管之间应采用不燃柔性材料封堵。无尘车间风管穿越建筑物变形缝空间时，应设置柔性短管，无尘车间风管穿越建筑物变形缝墙体时，应设置钢制套管，无尘车间风管与套管之间应采用柔性防水材料填充密实。