净室的定义为:将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为净室。净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,净室可以占据厂房很多位置。
净室系统,制造匹配规格之洁净空气,连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端,净室内的制造区(FAB)。一般而言,制造洁净空气之气源为外气(OUTSIDE AIR),经过净室系统各种处理单元设备之处理后进而得到匹配规格之洁净空气。以下简单介绍其处理流程:外气经由外气空调箱(Make-up Air Unit或MAU)初步过滤微尘(particle)并控制其温湿度后,经由回风管道间(Mech. Chase),将净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合,经由冷却盘管(Dry Cooling Coil)将回风管道间之回风降温至净室要求之规格,透过循环风扇(Fan Filter Unit或FFU)带动净室的气流循环带走微尘及热量,后经过超高性能过滤网(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)过滤后,供应至Fab区。
工业厂房,指直接用于生产或为生产配套的各种房屋,包括主要车间、辅助用房及附属设施用房。凡工业、交通运输、商业、建筑业以及科研、学校等单位中的厂房都应包括在内。工业厂房除了用于生产的车间,还包括其附属建筑物。
本标准适用于:
一、设计装配式或部分装配式的钢筋混凝土结构和混合结构厂房;
二、编制厂房建筑构配件标准设计图集。
注:①设计钢结构厂房、受条件限制的改(扩)建厂房、现浇式钢筋混凝土结构厂房、工艺对厂房有特殊要求的厂房或按本标准设计在技术经济上会产生显著不合理的厂房,可不执行本标准的某些规定;②采用新技术、新结构和新材料的厂房,可不受本标准某些规定的限制。